Cé chomh Criticiúil atá Íonacht Gháis i Déantúsaíocht Leathsheoltóra?
Comhdhearcadh Ginearálta i Déantúsaíocht Leathsheoltóra
Tá comhdhearcadh seanbhunaithe i réim i ndéantúsaíocht leathsheoltóra: sainmhínítear an teorainn uachtarach d’fheidhmíocht sliseanna trí dhearadh, agus tá teorainn íochtair an toraidh táirgthe ag brath ar íonacht an ábhair.
Faightear an íomhá ón Idirlíon.
An Liosta Iomlán Gáis Taobh thiar de Sliseanna Aonair
Ó ghlanadh sliseog agus sil-scannán tanaí go dtí eitseáil agus dópáil, tá níos mó ná 30 cineál gás próisis i gceist leis an bpróiseas táirgthe le haghaidh sliseog 12 orlach amháin, lena n-áirítear silane, amóinia, trifluairíd nítrigine, heicseafluairíd tungstain, clóiríd hidrigine, agus go leor eile. Ní mór gach gás a sheachadadh chuig an seomra imoibrithe ag íonacht ultra-ard.
Is féidir le rian neamhíonachtaí ag an leibhéal ppb (taise, ocsaigin, ábhar cáithníneach) a théann isteach sa phíobán gáis lochtanna scannáin tanaí agus éilliú idir-éadan a spreagadh, rud a tharraingíonn an táirgeacht go díreach síos. Ag glacadh leis an bpróiseas 3nm mar shampla, is fiú na céadta dollar SAM gach sliseanna aonair; ní leor luaineacht ach 1% sa toradh chun brabúis a bhfuil luach na mílte acu a scriosadh.
Cén fáth nach bhfuil "Ardíonacht" Leor?
Laistigh den tionscal leathsheoltóra, ní hionann "ardíonacht" agus "próiseas-réidh". Is é an fíordhúshlán ná coinneáil íonachta - éilliú a choinneáil-saor ó ghás ar feadh an chosáin seachadta ar fad ón bhfoinse gáis go dtí an pointe úsáide (POU).
Oibríonn trí phríomhchosaint i dteannta a chéile chun é seo a bhaint amach:
(1) Roghnú Ábhar: Déantar feadánra agus comhlaí as cruach dhosmálta 316L athmhéadaithe dúbailte VIM+VAR chun eisghabháil eiliminteach ó bhunábhair a íoslaghdú.
(2) Críochnú Dromchla: roughness dromchla inmheánach Ra Níos lú ná nó cothrom le 0.25 μm (10 μin.) le cóireáil electropolishing (EP) chun greamaitheacht cáithníneach agus asaithe taise a laghdú.
(3) Sláine Hermetic Séalaithe: Ráta sceite héiliam Níos lú ná nó cothrom le 1×10⁻⁹ atm·cc/soic chun iontráil éillithe seachtrach a bhlocáil go hiomlán.
Réitigh Seachadta Gáis Leathsheoltóra
VIGOR VUPS Ultra-Clúdaíonn líne táirge Ard-Íonachta an slabhra seachadta gáis iomlán a chomhlíonann caighdeáin SEMI, lena n-áirítear feisteas aghaidh miotail VCR-feisteas róin, comhlaí scairt ard-íonachta agus rialtóirí brú dhá chéim.
Déantar na táirgí go léir a chóimeáil, a thástáil agus a-folús mála-a phacáil faoi dhó i seomraí glan Aicme 100 roimh é a sheoladh. Ní comhlaí aonair amháin an méid a fhaigheann custaiméirí, ach córas dearbhaithe ardíonachta iomlán breiseán agus-seinm.
Tá táirgí VIGOR ag feidhmiú go hiontaofa i gcórais seachadta gás speisialtachta agus i bpíblínte soláthair gáis CVD/PVD ag go leor fabraic sliseog, atá comhoiriúnach le gáis phróisis ríthábhachtacha amhail silane, trífhluairíd nítrigine agus tríchlóiríd bhóróin.
Is rás gan teorainn é déantús leathsheoltóra i gcoinne ábhar salaithe - agus is é misean VIGOUR an líne tosaigh is glaine is féidir a chinntiú don rás seo.
